Orientación de la oblea a través de la mirilla

La línea de modelos de la Serie LK-G incluye un cabezal sensor de alcance ultralargo que se puede instalar a 1 m (3.3′) de distancia de un objeto. Esto permite realizar mediciones a través de una mirilla. La altura y la inclinación de las obleas en un entorno de vacío o alta temperatura se pueden medir con precisión.

Sensor láser de desplazamiento de CCD de alta velocidad y alta precisión

Serie LK-G3000

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